電子半導體石墨是一種在電子和半導體行業中具有廣泛應用前景的石墨材料。通過對傳統石墨進行改性處理,使其具備了半導體特性的一類材料。這種改性處理使得石墨在保持原有優良導電性能的基礎上,又具備了與傳統半導體相似的導電和導熱特性,從而在電子器件中能夠發揮重要作用。
1、防護措施:
防塵防吸入:石墨具有極細的顆粒,容易懸浮在空氣中并被吸入呼吸道,對人體健康產生影響。因此,操作時應戴上合適的防護口罩和手套,防止石墨粉塵進入呼吸道和皮膚。
避免直接接觸導電體:石墨具有高的導電性,與金屬或其他導電材料接觸時可能導致電路短路或觸電危險。在處理石墨時應特別注意避免直接接觸導電體,并在操作臺面上鋪設絕緣材料。
2、工作環境及加工要求:
良好的工作環境:減少碰撞,保持工作環境清潔,定時檢查電路,在最佳溫度下組織出產,減少空氣對石墨的氧化程度等,有助于延長石墨板的使用壽命。
加工質量:加工必須仔細,達到規范目標,比如浸漬要均勻,使電阻率基本保持一致,避免生產過程中出現部分完好而部分腐蝕嚴重的情況,從而減少浪費。
3、高溫下的注意事項:
有害氣體釋放:石墨在高溫情況下可能會釋放出有害氣體,如一氧化碳和二氧化碳等,因此在加工石墨時應特別注意通風換氣,以減少有害氣體對人體的影響。
4、高純度要求:
在半導體制造中,高純度是關鍵要求。高純石墨部件廣泛應用于半導體晶體生長、外延、離子注入、等離子蝕刻等制造工藝中。石墨中的雜質含量應保持在百萬分之五以下,以滿足半導體制造的高純度需求。
5、特殊性能的應用:
耐高溫:石墨融點和沸點都很高,熱膨脹系數小,強度隨溫度升高而加強。在半導體制造的高溫環境下,石墨能保持良好的性能。
導電導熱性:石墨具有良好的導電性和導熱性,超過鋼、鐵、鉛等金屬材料,在半導體制造中的加熱器、坩堝等部件中有重要應用。
化學穩定性:常溫下石墨有良好的化學穩定性,能耐酸、耐堿和耐有機溶劑的腐蝕,適用于半導體制造中的多種工藝環境。
6、存儲與運輸:
防潮防破損:石墨材料應儲存在干燥、陰涼的地方,遠離火源和熱源,避免陽光直射。同時,要注意防止石墨材料的包裝破損,以免影響其質量。
